多くの消費者は、目的を達成する際に、専門的な視点を考慮に入れません。 以下に、ターゲットを購入する前に考慮すべき事項を示します。
純度は、すべての金属の目標を達成するための重要な性能指標の 1 つです。 その後の製品膜の性能はターゲットの純度に大きく影響されますが、目的とする材料の純度は製品によって異なります。
ターゲットの不純物含有量は二番目に重要です。ターゲット固体中の汚染物質と細孔内の酸素と水蒸気は、一連のターゲットプロセス処理後の堆積膜の汚染の主な原因です。ターゲットの不純物含有量の要求は多岐にわたります。たとえば、現在半導体分野で使用されている純アルミニウムおよびアルミニウム合金ターゲットのアルカリ金属および放射性元素の含有量には、特定の規格があります。
ターゲットの主要な性能尺度の 1 つは密度です。ターゲット材料の技術的プロセスにおいて固体の細孔を減らし、スパッタリングされた膜の性能を向上させるには、通常、ターゲット材料の密度を高める必要があります。ターゲット材料の特性密度はフィルムの電気的特性と光学的特性の両方に影響を及ぼし、スパッタリング速度に大きな影響を与えます。フィルムの性能はターゲット密度とともに向上します。
粒子サイズと粒子サイズの分散は最後に行われます。ターゲット材料は多結晶であることが多く、そのサイズはマイクロメートルからミリメートルの範囲にあります。一方、粒子サイズの差が小さいターゲットによって堆積されるスパッタ膜の厚さ分布（均一な分布）は、がより均一であるため、同じターゲット材料の場合、細かい粒子を含むターゲットのスパッタリング速度は、粗い粒子を含むターゲットのスパッタリング速度よりも高くなります。
