モリブデンターゲット

モリブデン（Mo）ターゲットの概要

モリブデンターゲット、モリブデンは銀白色の金属で、モリブデンの原子半径は 0.14nm、原子体積は 235.5px/mol、配位数は 8、結晶は Az 型体心立方晶系、空間群は Oh (lm3m) であり、これまでのところ異性体変換は見つかっていません。 室温でのモリブデンの格子定数は 0.31467 ～ 0.31475 nm で、不純物含有量によって異なります。 モリブデンの密度は 10.23 g/cm で、タングステンの約半分です (タングステン密度 19.36 g/cm)。 モリブデンの熱膨張係数は非常に低く、20 ～ 100 度で 4.9 x 10/度です。 142.35 w/(mk) の高い熱伝導率を持っています。 モリブデンの抵抗率は低く、0 度で 5.17×-10Ω-cm です。 800度で24.6×-10Ω-cm; 2400度で72×-10Ω-cm。

モリブデンは、99.99 パーセントの純粋なモリブデンの場合、25 度で 0.93×10cm/g の特定の磁化係数を持つ常磁性体です。 モリブデンの比熱は 25 度で 242.8J/(kg-k) です。 モリブデンのモース硬度は 5 ～ 5.5 です。 モリブデンの蒸発熱は沸点で 594 kJ/mol です。 27.6 ± 2.9 kJ/mol の融解熱; 昇華熱は 25 度で 659 kJ/mol です。 モリブデンは、優れた電気伝導性と熱伝導性、小さな熱膨張係数、および高い耐腐食性を備えた熱エミッターおよび熱シールドです。 主に電気真空装置、高温炉の発熱体、遮熱板、材料ボートなどに使用されます。 主に電気真空装置、高温炉の発熱体、断熱板、材料ボートなどに使用されます。モリブデンボート、パワー半導体用モリブデン素子の製造、電気真空光源部品の製造に使用されています。

当社のモリブデン ターゲットの最も重要な利点は、優れた電気伝導性と、物理蒸着プロセスでの粒子サイズが最小であることです。 下の表は、3N5 モリブデン ターゲットの組成の分析証明書を示しています。 使用した分析方法: 1、ICP-OES を使用した金属元素分析。 ２、ＬＥＣＯを用いたガス元素分析。

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