今日は、大面積コーティングの作成に影響を与える最後の要素であるチャンバー条件について説明します。ターゲット材料自体には、品質、形状、結晶方位、その他の要素に関する問題があります。 電流要因と前述の要因との主な違いは、電流要因はターゲット材料自体ではなく外部条件のみに関係することです。
その後のエディターを使用すると、チャンバーの状態がターゲットの膜形成にどのような影響を与えるかを完全に理解できるようになります。
キャビティがきれいか不潔かに関係なく、あるいは製造プロセスに時間がかかりすぎると、より多くの汚染物質がキャビティの表面に吸着します。 これらの汚染物質は製造プロセス中に現れ、ターゲットの表面に付着します。スパッタリングプロセス中に凸面領域に電荷が蓄積する可能性があり、これによりノジュールのサイズが増大し、重大な放電が発生し、映画の品質に影響を与えます。
また、チャンバー内にわずかな空気漏れがあると、反応によって発生した非導電性スパッタリングがターゲット材表面に付着してノジュールを形成し、成膜効率や均一性が低下する可能性があります。ターゲットはチャンバーの状態に大きく影響されます。
最初は、純アルゴンでターゲットを燃焼させることで蓄積物を簡単に除去できますが、対処しない場合、蓄積物は最終的に増加し、重大なアーク放電を引き起こし、生産に影響を及ぼします。ターゲットは強力なガスで燃焼させる必要があります。コーティングのためのクリーンな環境を維持するために、真空チャンバーは定期的に研磨、真空引き、および拭き取りを行っています。 バッグネットにもサンドブラスト加工を施し、付着した金属反応物を除去します。
ターゲット材料の使用はコーティング チャンバーの環境に影響され、それが膜の品質にも影響します。コーティング プロセス中のほとんどの人の焦点はターゲット自体にあり、チャンバーの条件は無視されます。コーティングが不十分になるのはこれが原因です。このエッセイを読んだ後、友人がチャンバーの状態に気づいてくれることを願っています。
