タンタルスパッタリングターゲット

タンタルスパッタリングターゲットスパッタリングの説明
タンタルスパッタリングターゲットは、その原材料と同じ特性を持っています。タンタルは、希少で硬く青灰色の耐食性の高い高融点金属の 1 つです。タンタルの融点は2980度、密度は16.68g/cm3です。タンタルは、高い融点、低い蒸気圧、優れた冷間加工性能、高い化学的安定性、液体金属腐食に対する強い耐性、表面酸化膜の大きな誘電率など、一連の優れた特性を備えています。エレクトロニクス、冶金、鉄鋼、化学工業、超硬合金、原子力、超電導技術、自動車エレクトロニクス、航空宇宙、医療およびヘルスケア、科学研究などのハイテク分野で重要な用途があります。

 

タンタルスパッタリングターゲットの性能要件
タンタルターゲットの純度は99.95％（3N5）、99.99％（4N）、99.995％（4N5）の3段階に分かれており、個々の不純物含有量はユーザーの要件を満たす必要があります。精密加工後のタンタルターゲットの表面粗さは良好で、表面はきれいで明るいはずです。加圧処理工程において、タンタルターゲットの内部構造は成層化しやすくなります。また、タンタルインゴットの内部にも気孔が生じやすい。

認定されたタンタルターゲットには、内部組織の層化や細孔などの欠陥があってはなりません。粒度は表 9-24 の要件を満たす必要があります。硬度は60HV〜110HVの要件を満たす必要があります。タンタルターゲットはろう付けまたは拡散溶接によってバックプレートに溶接でき、溶接品質は表9-25の要件を満たす必要があります。半導体チップ用のタンタルターゲットの直径は200～460mm、厚さは6～10mmが一般的です。

化学組成

要素	R05200 (%,最大)	R05400 (%,最大)
C	0.01	0.01
O	0.015	0.03
N	0.01	0.01
H	0.0015	0.0015
鉄	0.01	0.01
モー	0.02	0.02
注意	0.1	0.1
ニ	0.01	0.01
シ	0.005	0.005
ティ	0.01	0.01
W	0.05	0.05

裕盛金属製品

宝鶏裕盛金属技術有限公司は陝西省宝鶏市のハイテク開発区に位置しています。同社の主な製品は次のとおりです。 タンタル、ニオブ、バナジウム、タングステン、モリブデン、チタン、ジルコニウム、ニッケル、コバルト、インジウム、ハフニウム、錫、クロムおよびそれらの合金 プレート、ストリップ、フォイル、ロッド、ワイヤーなどの従来の加工プロファイルチューブ、ボート、るつぼ、スパッタリングターゲット、コーティングターゲット、機械加工部品、高温炉遮熱板、発熱体、炉体（加熱炉、アニール炉）、耐食装置、その他深加工品。

裕盛金属設備

350KW電子ビーム照射炉、2000T油圧プレス、1700mm真空焼鈍炉、42KW 1台と15KW 2台の微細鍛造機、14-ロール微細箔圧延機LDD120、LDD-40、LDD-15を備えています、LDD-8 ダブルラインパイプ圧延機、2- ロール 500T オープンビレットミル、4- ロール冷間圧延機。6- ロール冷間圧延機、15KW 両面伸線機、円筒研削盤、スキニングマシン、平面研削盤およびその他の一連の機器。

 

タンタルスパッタリングターゲットの用途

• 実験装置に使用されます。
・プラチナの代替として使用されます。
• 冶金、機械加工、ガラス、セラミックの分野で使用されます。超合金の製造や電子ビーム溶解に使用されます。
• ニッケルベースの合金の超合金添加物として使用されます。
• 薄膜トランジスタ液晶ディスプレイおよび集積回路 (TFT-LCD) のスパッタリング ターゲットとして使用されます。

 

 

人気ラベル: タンタル スパッタリング ターゲット、サプライヤー、メーカー、工場、カスタマイズ、購入、価格、見積もり、品質、販売用、在庫あり